ガルバノスキャナー

S-9320 ガルバノスキャナー

仕様

モデル S-9320
口径サイズ（mm） 15, 20
最大スキャン角度 ±12.5°
小ステップ応答時間(1) (ms) 0.35
ロータイナーシャ、ｇ＊cm2, ±10% 1.9
トルク定数, dyne・cm/amp, ±10% 1.9x105
最大RMS定数 (A/axis) 4
ピーク電流 (A) 20
ゼロドリフト (μrad/℃) ＜15
スケールドリフト(ppm/℃) <50
直線性 (2) ≧99.90%
再現性 (μrad) <8
8時間以上の長時間ドリフト (mrad) <0.5
動作温度 25℃±10℃
重量（ケーブルなし） (ｇ） 225
　- すべての角度は、機械的な角度です。
　-上記のすべての仕様は、電源投入６０秒後に対するものです。
(1)各モデルの最小Yミラーでフルスケールの1％にセトリング。
(2)光学角度で±20°以内